Verfahren zur Herstellung von titanhaltigen Dünnfilmen mittels Atomschichtabscheidung mit Vorläufern auf Monocyclopentadienyl-Titanbasis

EP 60 2008 037 055.0 – C23C 16/455. AT 10.09.2008; OT 02.10.2013; PT 04.03.2015. Anm.: Sigma-Aldrich Co. LLC, St. Louis, Mo., US. Erf.: Leese, Thomas, Alsager, Stoke-on-Trent ST7 2HD, GB, Odedra, Rajesh, Altrincham, Cheshire WA14 5NU, GB, Heys, Peter Nicholas, Wistaston, Crewe, Cheshire CW2 6QE, GB, Song, Fuquan, Eastham, Wirral CH62 8EX, GB, Williams, Paul, Bromborough,Wirral CH62 2AY, GB, Kingsley, Andrew, Newton, Chester CH2 2FA, GB, Davies, Hywel Owen, Bryn Coch Lane, Mold, Flintshire CH7 1PW, GB.