Verfahren zum selektiven Abscheiden von Edelmetallen auf Metall- bzw. Metallnitridsubstraten

EP 60 2012 007 111.7 - C23C 16/04. AT 04.10.2012; OT 10.04.2013; PT 06.05.2015. Anm.: IMEC, Leuven, BE. Erf.: Delabie, Annelies, 3001 Leuven, BE; Swerts, Johan, 3001 Leuven, BE; van Elshocht, Sven, 3001 Leuven, BE.