Vorrichtung zur Ablagerung eines optischen Dünnfilms und Verfahren zur Herstellung eines Optischen Dünnfilms

WP 60 2009 014 005.1 – C23C 14/22. AT 17.08.2009; OT 22.06.2011; PT 13.03.2013. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Murata, Takanori, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Shiono, Ichiro, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Shimizu, Tadayuki, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Nagae, Ekishu, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Furukawa, Makoto, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Jiang, Yousong, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP, Hayashi, Tatsuya, Yokohama-shi Kanagawa 220-8680, JP

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