System zur Injektion einer chemischen Lösung und Verfahren zur Injektion einer chemischen Lösung

EP 60 2015 001 011.6 - C23F 11/00. AT 08.01.2015; OT 22.07.2015; PT 21.12.2016. Anm.: Kabushiki Kaisha Toshiba, Tokyo, JP. Erf.: Okamura, Masato, Tokyo 105-8001, JP Oosato, Tetsuo, Tokyo 105-8001, JP Yamamoto, Seiji, Tokyo 105-8001, JP Arai, Hiroyuki, Tokyo 105-8001, JP Shibasaki, Osamu, Tokyo 105-8001, JP Negishi, Koji, Tokyo 105-8001, JP Koga, Hiromichi, Tokyo 105-8001, JP