Verfahren zur Herstellung von dünnem Film und Vorrichtung dafür

WP 603 46 051.8 – C23C 16/509. AT 03.10.2003; OT 15.04.2004; PT 23.04.2014. Anm.: IHI Corp., Tokyo, JP. Erf.: Takagi, Tomoko, Yokohama-shi, Kanagawa 232-0053, JP, Ito, Norikazu, Yokohama-shi, Kanagawa 235-0022, JP, Ueda, Masashi, Yokohama-shi, Kanagawa 235-0022, JP.