Verfahren zur Formung eines organischen Polymerdünnfilms und Vorrichtung zur Formung eines organischen Polymerdünnfilms

EP 60 2010 034 271.9 - C23C 14/12. AT 13.10.2010; OT 18.05.2011; PT 29.06.2016. Anm.: Ulvac, Inc., Chigasaki-shi, Kanagawa, JP. Erf.: Noguchi, Masumi, Aichi-ken, 471-0875, JP Momono, Ken, Kanagawa, 253-8543, JP Irikura, Hagane, Ibaraki, 300-2635, JP