Verfahren und Vorrichtung zur Schichtdickenkontrolle bei der Beschichtung von Substraten im Vakuum

PS 10 2010 041 858.7 – C23C 14/56. AT 01.10.2010; OT 05.04.2012; PT 09.10.2014. Anm.: VON ARDENNE GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Wenzel, Bernd-Dieter, 01909 Großharthau, DE, Faber, Jörg, Dr., 01809 Müglitztal, DE, Pollack, Gerd, 01640 Coswig, DE.