Vorrichtung, in der eine Operation durchgeführt wird, die die Kontrolle der Atmosphäre in einer Kammer erfordert

WP 601 47 560.7 – C23C 16/44. AT 06.11.2001; OT 06.11.2003; PT 02.01.2013. Anm.: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Paris, FR; Softal electronic Erik Blumenfeld GmbH & Co., 21107 Hamburg, DE. Erf.: Döring, Wolfgang, SOFTAL electronic, D-21107 Hamburg, DE, Förster, Franck, SOFTAL electronic, D-21107 Hamburg, DE, Gelot, Jean-Louis, F-78990 Elancourt, FR, Thonnelier, Jean-Yves, F-78960 Voisins le Bretonneux, FR, Melen, Stéphane, F-27430 Herqueville, FR, Martens, Bernd, SOFTAL Electronic, 21107 Hamburg, DE, Villermet, Alain, F-78220 Viroflay, FR, Cocolios, Panayotis, F-78830 Bullion, FR, Prinz, Eckard, SOFTAL electronic, D-21107 Hamburg, DE, Coeuret, François, F-78280 Guyancourt, FR.