Verfahren zur Abscheidung von Zinkoxid bei niedrigen Temperaturen und damit hergestellte Produkte

EP 60 2006 028 576.0 – C23C 16/40. AT 17.11.2006; OT 23.05.2007; PT 04.04.2012. Anm.: Air Products and Chemicals, Inc., Allentown, US. Erf.: Jackson, Thomas N., State College PA 16803, US, Sun, Jie, State College, PA 16803, US, Tempel, Daniel Josef, Macungie PA 18062, US, Garg, Diwakar, Emmaus PA 18049, US, Henderson, Philip Bruce, Allentown PA 18106, US.