Verfahren zur Beschichtung mit Metallnanopartikeln durch physikalische Beschichtung aus der Dampfphase

EP 60 2008 022 470.8 – C23C 14/34. AT 27.11.2008; OT 16.07.2009; PT 27.02.2013. Anm.: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Paris, FR. Erf.: Emieux, Fabrice, 38340 Voreppe, FR, Taupeau, Anthony, 33600 Pessac, FR, Mailley, Sophie, 38730 Le Pin, FR, Bedel, Laurent, 38950 Quaix en Chartreuse, FR.