Abscheidung einer Schutzschicht durch Sputtern mittels eines Strahls geladener Teilchen und Bearbeitung der Schicht mittels eines Strahls geladener Teilchen

EP 60 2007 044 519.1 - C23C 14/30. AT 14.02.2007; OT 21.07.2010; PT 06.01.2016. Anm.: FEI COMPANY, Hillsboro, Oreg., US. Erf.: Schmidt, Michael, Gresham, OR 97080, US Blackwood, Jeff, Portland, OR 97206, US