Vorrichtung zur Bearbeitung durch Ionenbombardements sowie Verfahren zur Reinigung der Oberfläche eines Basismaterials mithilfe dieser Bearbeitungsvorrichtung

WP 60 2011 012 412.9 – C23C 14/02. AT 16.05.2011; OT 08.12.2011; PT 17.12.2014. Anm.: K. K. Kobe Seiko Sho, Kobe-shi, Chuo-ku, JP. Erf.: Adachi, Shigeto, Takasago-shi, Hyogo 676-8670, JP, Nomura, Homare, Takasago-shi, Hyogo 676-8670, JP, Fujioka, Koumei, Takasago-shi, Hyogo 676-8670, JP, Goto, Naoyuki, Takasago-shi, Hyogo 676-8670, JP.