Kobalt-Nitrid-Schichten für Kupfermikroverdrahtungen und Verfahren zu ihrer Herstellung

WP 60 2008 035 737.6 – C23C 16/18. AT 09.04.2008; OT 16.07.2009; PT 03.12.2014. Anm.: The President and Fellows of Harvard College, Cambridge, Mass., US. Erf.: Kim, Hoon, Cambridge, MA 02139, US, Bhandari, Harish, Boston, MA 02115, US, Gordon, Roy Gerald, Cambridge, MA 02138, US.