Gegenüber Wasser reaktiver Al-Verbundwerkstoff, gegenüber Wasser reaktiver Al-Film, Verfahren zur Herstellung des Al-Films und Bauelement für Filmbildungskammer

WP 60 2009 040 102.5 - C23C 4/06. AT 27.04.2009; OT 05.11.2009; PT 03.08.2016. Anm.: Ulvac, Inc., Chigasaki-shi, Kanagawa, JP. Erf.: Kadowaki, Yutaka, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP Saitou Tomoko, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP Lim Keng Weng, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP Mushiake, Katsuhiko, Sammu-shi Chiba 289-1297, JP