Verfahren unter Verwendung von Aminovinylsilan-Ausgangsstoffne für die Abscheidung von SiN-Filmen mit intrinsischer Druckspannung

EP 60 2009 007 664.7 – C23C 16/34. AT 12.11.2009; OT 02.06.2010; PT 20.06.2012. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Johnson, Andrew David, Doylestown, PA 18901, US, Xiao, Manchao, San Diego, CA 92130, US, Vorsa, Vasil, Coopersburg, PA 18036, US.