Verfahren unter Verwendung von Aminovinylsilan-Ausgangsstoffne für die Abscheidung von SiN-Filmen mit intrinsischer Druckspannung

EP 60 2009 007 664.7 – C23C 16/34. AT 12.11.2009; OT 02.06.2010; PT 20.06.2012. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Johnson, Andrew David, Doylestown, PA 18901, US, Xiao, Manchao, San Diego, CA 92130, US, Vorsa, Vasil, Coopersburg, PA 18036, US.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Elektrochemische Zelle

• Thermochrome Beschichtungen

• Stromlose Metallabscheidung in Mikrokanälen

• Verfahren zur Optophysikalischen Oberflächenbehandlung von Polymersubstraten und Vorrichtung zur Anwendung dieses Verfahrens

• Verfahren zur Entfernung von Silber von einer Leiterplatte

• Anordnung zum Verhindern galvanischer Korrosion und Verfahren zum Zusammenbauen derselben

• Metallischer Gegenstand mit elektrisch isolierender Beschichtung sowie Verfahren zur Herstellung einer elektrischen isolierenden Beschichtung

• Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Bauteilen

• Verwendung von KrF-Excimerlasern zur Laserpulsabscheidung und zur Spannungsreduzierung von dünnen Schichten

• Chemisches Mittel zur Konversionsbeschichtung und beschichtete Metalloberflächen

Links zu diesem Artikel

Werbepartner