Verfahren zur Herstellung von dünnen Beschichtungen
EP 60 2004 037 259.5 – C23C 16/04. AT 09.02.2004; OT 18.08.2004; PT 11.04.2012. Anm.: NGK Insulators, Ltd., Nagoya, JP. Erf.: Kondo, Yoshimasa c/o IP Dept NGK Insulators, Ltd, Nagoya City, Aichi-ken 467-8530, JP, Saito, Takao c/o IP Dept NGK Insulators, Ltd, Nagoya City, Aichi-ken 467-8530, JP, Nakamura, Yukinori c/o IP Dept NGK Insulators, Ltd, Nagoya City, Aichi-ken 467-8530, JP, Ohtake, Naoto, Yokosuka-city, Kanagawa-Pref. 239-0807, JP.