Magnetronsputtereinrichtung

PS 10 2011 004 450.7 – C23C 14/35. AT 21.02.2011; OT 23.08.2012; PT 13.09.2012. Anm.: VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Hans-Jürgen Heinrich, 01900 Großröhrsdorf, DE.

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