Verfahren und Anlage zur Herstellung eines beschichteten Gegenstands mittels Tempern

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und ein System zur Herstellung eines beschichteten Gegenstands durch eine Abscheidung mindestens einer transparenten leitfähigen Metalloxidschicht auf einem Substrat. Dabei erfolgt die Abscheidung bei niedriger Temperatur des Substrats. Anschließend wird die Beschichtung einer Temperaturbehandlung durch eine Laserbestrahlungsvorrichtung oder einer Temperaturbehandlung in einem Hochkonvektionsofen oder in einem Zweikammerofen unterzogen. Die Oberflächentextur der Beschichtung kann danach durch einen Ätzschritt gezielt eingestellt werden.

PS 10 2009 033 417.3 - C23C 14/58. AT 16.07.2009; OT 30.12.2010; PT 09.02.2017. Anm.: INTERPANE Entwicklungs-und Beratungsgesellschaft mbH, 37697 Lauenförde, DE. Erf.: Kappertz, Oliver, Dr., 33098 Paderborn, DE Datz, Marc, 37671 Höxter, DE Michel, Lars, 37671 Höxter, DE Weis, Hansjörg, Dr., 37671 Höxter, DE Herlitze, Lothar, Dr., 37691 Derental, DE