Vorrichtung und Verfahren zur Atomlagenabscheidung

WP 60 2009 007 114.9 – C23C 16/455. AT 25.08.2009; OT 04.03.2010; PT 16.05.2012. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Maas, Diederik Jan, NL-4834 EH Breda, NL, van Someren, Bob, NL-3011 DE Rotterdam, NL, Lexmond, Axel Sebastiaan, NL-2253 AC Voorschoten, NL, Duisterwinkel, Antonie Ellert, NL-2612 EC Delft, NL, Spee, Carolus Ida Maria Antonius, NL-4706 AS Helmond, NL, Vermeer, Adrianus Johannes Petrus Maria, NL-5666 BW Geldrop, NL.

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