Verfahren zur Herstellung von Kompositschichten mit einer Plasmastrahlquelle

WP 500 16 266.2 – C23C 16/513. AT 11.10.2000; OT 07.06.2001; PT 03.10.2012. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Voigt, Johannes, 71229 Leonberg, DE, Grosse, Stefan, 70839 Gerlingen, DE.