Verfahren und Vorrichtung für die Innenbeschichtung von Hohlkörpern sowie Verwendung der Vorrichtung

Beschreibung: Die Erfindung betrifft eine Gaslanze, die eine schnelle und gleichmäßige Beschichtung mittels CVD-Verfahren in Hohlkörpern ermöglicht. Die Lanze weist dazu einen Hauptkanal und zumindest einen abzweigenden Seitenkanal auf.

PS 10 2004 020 185.4 – C23C 16/455. AT 22.04.2004; OT 24.11.2005; PT 17.01.2013. Anm.: Schott AG, 55122 Mainz, DE. Erf.: Bensberg, Andreas, Dr., 55131 Mainz, DE, Behle, Stephan, Dr., 55239 Gau-Odernheim, DE, Lüttringhaus-Henkel, Andreas, 64289 Darmstadt, DE, Bicker, Matthias, Dr., 55126 Mainz, DE, Arnold, Gregor, 55294 Bodenheim, DE, Klein, Jürgen, Dr., 55127 Mainz, DE.