Vakuumbehandlungsverfahren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

PS 10 2010 040 077.7 – C23C 14/56. AT 31.08.2010, OT 01.03.2012; PT 11.09.2014. Anm.: VON ARDENNE GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Leupold, Jan, 01099 Dresden, DE, Seyfert, Ulf, Dr., 01324 Dresden, DE, Nilsson, Andreas, Dr., 01326 Dresden, DE, Niederhausen, Thomas, 01279 Dresden, DE.