Vorläufer für CVD-Siliziumenthaltenden-Schichten

EP 60 2006 033 148.7 – C23C 16/36. AT 11.05.2006; OT 22.12.2010; PT 14.11.2012. Anm. Air Products and Chemicals, Inc., Allentown, US. Erf.: Hochberg, Arthur Kenneth, Solana Beach, CA 92075, US, Xiao, Manchao, San Diego, CA 92130, US.

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