Vorrichtung zur Ausbildung von dünnem Film

WP 603 41 084.7 – C23C 14/34. AT 02.06.2003; OT 16.12.2004; PT 30.05.2012. Anm.: Shincron Co. Ltd., Yokohama-shi, JP. Erf.: Sakurai, Takeshi, Yokohama-shi, Kanagawa 223-0052, JP, Murata, Takanori, Yokohama-shi, Kanagawa,230-0011, JP, Song, Yizhou, Saitama 332-0011, JP.