Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, sowie Verdampfungsquelle zur Herstellung eines Schichtsystems

EP 50 2008 012 037.8 – C23C 14/06. AT 30.05.2008; OT 11.02.2009; PT 23.07.2014. Anm.: Sulzer Metaplas GmbH, 51427 Bergisch Gladbach, DE. Erf.: Erkens, Georg, 52068, Aachen, DE, Vetter, Jörg, 51469, Bergisch Gladbach, DE.