Verfahren zur Herstellung von drahbondbaren und lötbaren Oberflächen auf Edelmetallelektroden

EP 60 2012 016 227.9 - C23C 18/18. AT 05.12.2012; OT 11.06.2014; PT 30.03.2016. Anm.: Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin, DE. Erf.: Walter, Dr. Andreas, 01109 Dresden, DE