Verfahren zur Herstellung einer transparenten und leitfähigen Oxidschicht
WP 50 2005 013 928.3 – C23C 14/34. AT 18.01.2005; OT 16.11.2006; PT 21.08.2013. Anm.: Forschungszentrum Jülich GmbH, 52428 Jülich, DE. Erf: Hüpkes, Jürgen, 47877 Willich, DE, Mueller, Joachim, 70736 Fellbach, DE, Kluth, Oliver, 8880 Walenstadt St. Gallen, CH, Rech, Bernd, 12587 Berlin, DE.