Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidungsvorrichtung

WP 60 2012 029 257.1 - C23C 16/50. AT 16.03.2012; OT 04.10.2012; PT 01.03.2017. Anm.: LG Electronics Inc., Seoul, KR. Erf.: OH, Junggeun, Seoul 153-802, KR Lee, Kwangho, Seoul 153-802, KR Lee, Jangwoo, Seoul 153-802, KR Kim, Jeonggyu, Seoul 153-802, KR Shin, Jinhyouk, Seoul 153-802, KR