Verfahrenskammerkomponente mit Überzugsschichten und Verfahren
WP 60 2005 051 440.6 - C23C 4/02. AT 18.11.2005; OT 13.07.2006; PT 01.03.2017. Anm.: Applied Materials, Inc., Santa Clara, Calif., US. Erf.: Lin, Yixing, Saratoga, California 95070, US Xu, Daijiang, Milpitas, California 95035, US Stow, Clifford, Boulder Creek, California 95006, US