Alkalischer Ätzprozess und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

PS 10 2012 107 372.4 - C23F 1/32. AT 10.08.2012; OT 13.02.2014; PT 09.03.2017. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Lachowicz, Agata, 63791 Karlstein, DE Schum, Berthold, 63599 Biebergemünd, DE Blanke, Heinrich, 65510 Hünstetten, DE