Verwendung eines Targets zur Lichtbogenionenplattierung für die Herstellung eines Hartfilms

EP 601 46 139.8 – C23C 14/34. AT 19.12.2001; OT 19.11.2008; PT 15.02.2012. Anm.: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe, JP. Erf.: Takahara, Kazuki, Takasago-shi Hyogo 676-8670, JP, Satou, Toshiki, Kobe-shi Hyogo 651-2271, JP, Yamamoto, Kenji, Kobe-shi Hyogo 651-2271, JP, Morikawa, Yasuomi, Kobe-shi Hyogo 651-2271, JP, Hanaguri, Koji, Takasago-shi Hyogo 676-8670, JP.

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