Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrats mittels CVD

WP 50 2009 007 684.3 – C23C 16/24. AT 13.11.2009; OT 06.10.2011; PT 31.07.2013. Anm.: CemeCon AG, 52146 Würselen, DE; Diaccon GmbH, 90762 Fürth, DE. Erf.: Reichert, Walter, 52064 Aachen, DE, Lemmer, Oliver, 52066 Aachen, DE, Rüffer, Martin, 92224 Amberg, DE, Rosiwal, Stefan, 96049 Bamberg, DE, Bareiss, Christian, 52070 Aachen, DE, Perle, Marc, 91301 Forchheim, DE.