Beschichtung auf Basis von diamantähnlichem Kohlenstoff

EP 50 2012 008 476.8 - C23C 14/00. AT 10.08.2012; OT 20.02.2013; PT 12.10.2016. Anm.: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80636 München, DE; Fraunhofer USA, Inc., Plymouth, Mich., US. Erf.: Scheibe, Hans-Joachim, 01309 Dresden, DE Schuelke, Thomas, Brighton, MI 48116, US Haubold, Lars, East Lansing, MI 48823, US Becker, Michael, East Lansing, MI 48823, US Mahmut, Yaran, East Lansing, MI 48823, US