Ablagerungsquelle und Vorrichtung zur Ablagerung einer organischen Schicht damit

EP 60 2012 000 055.4 – C23C 14/12. AT 11.01.2012; OT 30.08.2012; PT 29.05.2013. Anm.: Samsung Display Co., Ltd., Yongin-City, KR. Erf.: Kim, Chae-Woong, 446-711 Yongin-City, KR, Lee, Dong-Kyu, 446-711 Yongin-City, KR, Choi, Young-Mook, 446-711 Yongin-City, KR, Kim, Mu-Hyun, 446-711 Yongin-City, KR, Kang, Hee-Cheol, 446-711 Yongin-City, KR