Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Oberflächen
PS 10 2010 043 949.5 – C23C 16/453. AT 16.11.2010; OT 16.05.2012; PT 20.06.2013. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE. Erf.: Hädrich, Thomas, Dr., 07743 Jena, DE, Heft, Andreas, Dr., 07545 Gera, DE, Martin, Björn, 07745 Jena, DE, Spange, Sebastian, 07745 Jena, DE.