Verfahren zur Herstellung einer Membran aus diamantähnlichem Kohlenstoff

WP 60 2009 030 887.4 – C23C 16/27. AT 28.12.2009, OT 05.08.2010; PT 22.04.2015. Anm.: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe-shi, Hyogo, JP. Erf.: Hirotaka Ito, Kobe-shi, Hyogo 651-2271, JP, Kenji Yamamoto, Kobe-shi, Hyogo 651-2271, JP.