Abscheidungsverfahren unter Verwendung von Gruppe-8-(VIII-)Metallocenvorstufen

WP 603 42 863.0 – C23C 16/18. AT 30.10.2003; OT 01.09.2005; PT 12.12.2012. Anm.: Praxair Technology, Inc., Danbury, US. Erf.: Litwin, Michael, M., Cheektowaga, NY 14225, US, Peck, John, D., West Seneca, NY 14224, US, Thompson, David, M., East Amherst, NY 10451, US, Hoover, Cynthia, A., Grand Island, NY 14072, US.

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