Katodenzerstäubungsverfahren sowie Verwendung des Verfahrens

PS 103 24 556.1 – C23C 14/34. AT 30.05.2003; OT 16.12.2004; PT 05.02.2015. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Bartzsch, Hagen, Dr., 01309 Dresden, DE, Gottfried, Christian, 01219 Dresden, DE, Frach, Peter, Dr., 01454 Radeberg, DE, Goedicke, Klaus, 01307 Dresden, DE, Lange, Stephan, 01277 Dresden, DE.