Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats aus Teilchen

WP 50 2013 003 226.4 - C23C 14/22. AT 13.09.2013; OT 27.03.2014; PT 25.05.2016. Anm.: Technische Universität Wien, Wien, AT. Erf.: Schmid, Gerwin, A-1020 Wien, AT Eisenmenger-Sittner, Christoph, A-2352 Gumpoldskirchen, AT Hell, Johannes, A-3200 Ober-Grafendorf, AT Quirchmair, Martin, A-4846 Redlham, AT

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