Verfahren zur langzeitstabilen Beschichtung von Substraten

PS 10 2011 080 810.8 - C23C 14/30. AT 11.08.2011; OT 14.02.2013; PT 17.09.2015. Anm.: VON ARDENNE GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Reinhold, Ekkehart, 01465 Langebrück, DE; Faber, Jörg, Dr., 01809 Müglitztal, DE; Steuer, Christoph, 04720 Döbeln, DE; Baumann, Jens, Dr., 09114 Chemnitz, DE; Wenzel, Bernd-Dieter, 01909 Großharthau, DE.