Verfahren zur Oberflächenbeschichtung durch Sprühpartikel mit einer kryogenen Trägerflüssigkeit

WP 60 2012 013 455.0 - C23C 24/04. AT 01.10.2012; OT 20.06.2013; PT 30.12.2015. Anm.: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Paris, FR. Erf.: Richard, Frédéric, F-95620 Parmain, FR Quintard, Jacques, F-95590 Presles, FR Truchot, Charles, F-44600 Saint Nazaire, FR