Verfahren zur Herstellung einer dotierten, transparenten und leitfähigen Metalloxid-Schicht auf einem Substrat
PS 10 2011 005 753.6 - C23C 14/58. AT 18.03.2011; OT 28.03.2013; PT 18.02.2016. Anm.: VON ARDENNE GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Neidhardt, Jörg, Dr., 01097 Dresden, DE Linß, Volker, Dr., 01324 Dresden, DE Dimer, Martin, Dr., 01309 Dresden, DE