Vakuumbeschichtungsinstallation und Verfahren zur Erzeugung einer Beschichtung auf einem Substrat.

EP 60 2008 022 820.7 – C23C 14/56. AT 25.01.2008; OT 01.10.2009; PT 13.03.2013. Anm.: Applied Materials, Inc., Santa Clara, US. Erf.: Lotz, Hans-Georg, 63584 Gründau-Rothenbergen, DE, Sauer, Peter, 36381 Schlüchtern, DE.

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