Verfahren und Vorrichtung zum Umsetzen von Precursor-Schichten in fotovoltaische Absorber

WP 60 2006 034 952.1 – C23C 14/34. AT 17.10.2006; OT 14.08.2008; PT 06.03.2013. Anm: SoloPower, Inc., San Jose, US. Erf: Basol, Bulent, Manhattan Beach, CA 90266, US.

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