Leitfähiges beschichtetes Element und Verfahren zu seiner Herstellung
WP 60 2008 041 114.1 - C23C 28/00. AT 26.02.2008; OT 04.09.2008; PT 11.11.2015. Anm.: LG Chem, Ltd., Seoul, KR. Erf.: Jang, Hyeon Woo, Daejeon 302-792, KR Bang, Jungsik, Yuseong-gu,Daejeon 305-741, KR