Mikroplasmaauftragsverfahren

EP 60 2006 047 068.1 - C23C 4/12. AT 25.04.2006; OT 17.01.2007; PT 28.10.2015. Anm.: United Technologies Corp., Hartford, Conn., US. Erf.: Blankenship, Donn R., Southbury CT 06488, US Rutz, David A., Glastonbury CT 06033, US Pietrusca, Norman A., Durham CT 06422, US Zajchowski, Paul H., enfield CT 06082, US Shubert, Gary, East Hampton CT 06424, US