Verfahren zur Herstellung einer Form und Verfahren zur Herstellung eines Antireflexionsfilms unter Verwendung der Form

EP 60 2009 013 365.9 – C23F 17/00. AT 22.12.2009; OT 01.12.2011; PT 13.02.2013. Anm.: Sharp Kabushiki Kaisha, Osaka-shi, JP. Erf.: Ihara, Ichiro, Osaka-shi, Osaka 545-8522, JP.