Verfahren zur Abscheidung von Zinkoxid auf einem Substrat

PS 10 2015 209 358.1 - C23C 16/452. AT 21.05.2015; OT 25.02.2016; PT 25.02.2016. Anm.: Universität Ulm, 89081 Ulm, DE. Erf.: Reiser, Anton, 88400 Biberach, DE Madel, Manfred, 89079 Ulm, DE Huber, Florian, 89194 Schnürpflingen, DE Thonke, Klaus, 89081 Ulm, DE