Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerung atomarer Schichten auf einem Substrat

WP 60 2011 015 212.2 – C23C 16/54. AT 11.02.2011; OT 18.08.2011; PT 01.04.2015. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Vermeer, Adrianus Johannes Petrus Maria, NL-5666 BW Geldrop, NL, Roozeboom, Freddy, NL-5582 ED Waalre, NL, van Deelen, Joop, NL-5612 JH Eindhoven, NL.