Schichtsystem mit zweilagiger metallischer Schicht

WP 50 2011 007 703.3 - C23C 28/02. AT 08.07.2011; OT 17.01.2013; PT 26.08.2015. Anm.: Siemens Aktiengesellschaft, 80333 München, DE; Erf.: Bostanjoglo, Georg, 14163 Berlin, DE; Kaiser, Axel, 41462 Neuss, DE; Stamm, Werner, 45481 Mülheim an der Ruhr, DE; Steinbach Jan, 13353 Berlin, DE; Thomaidis, Dimitrios, 14197 Berlin, DE.

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